半导体行业的废气处理

　　随着科技的发展，目前市场上新材料行业与传统材料相比，其应用范围更广了，新材料产业的研究与开发投入高，产品的附加值高在生产与市场的***际性强，而且新材料半导体行业的发展前景***。 

 

　　而新材料半导体行业在加工的过程中采用清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂，这些溶剂中含有***量的有机物成分，在整个工艺加工的过程中将会有部分的有机溶剂***部分通过挥发成为废气排放，这部分挥发的废气主要成分为具有挥发性的VOCs，下面讲解一下关于：新材料半导体行业的废气应该怎么处理。

 

　　新材料半导体行业的废气除了含有VOCs以外，还混有HCl、氨、HF等危险污染物，宏森环保采用的是RTO蓄热式焚烧炉来处理半导体行业的废气：

 

　　工业废气中主要含有酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体四种，自身具有的溶解***性，半导体工业的气体虽然排放量***，但是气体的浓度低。

 

　　RTO设备采用的是高温破坏焚烧的废气治理技术，升温能源一般是电和天然气，其高温需高达700度或者以上，虽然温度需高达700度左右，但是其实消耗的能源并不多，设备运行期间部分的热能是能够回收重新利用的，降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。