半导体工业的废气如何处理

  半导体工业的废气如何处理

　　半导体指的是在常温下导电性能介于导体与***缘体之间的一种材料，主要应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、***功率电源转换等***域，在半导体工业加工的过程中将会有部分的气体排出，那半导体工业的废气有毒吗，怎么处理***?

 

　　半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂，而这些溶剂是含有***量的有机物成分，排放出来的废气含有HCl、氨、HF等危险污染物，而主要处理的是具有挥发性的VOCs。

 

　　温馨提示：VOCs污染物为有机化合物，在浓度较高且有火花或静电情况下，极易发生闪爆现象。

 

　　半导体在制造过程中一般的污染源包括颗粒污染物、金属离子和化学物质等，而这些都是属于有害的污染物。

 

　　半导体废气处理方法根据工业废气成分进行废气处理设备的选择：

 

　　沸石转轮吸附浓缩装置：主要用于有机废气的治理， ***别适合于***风量，低浓度场合;

 

　　喷淋塔：对于含有酸性/碱性物质的废气 ，半导体厂封闭车间***都采用***型卧式洗涤塔进行废气处理。

 

　　TO直燃炉(催化燃烧装置)：对***风量、低浓度的VOCs废气，TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。